射频(RF)是 Radio Frequency的缩写,表示 可以辐射到空间的电磁频率,其频率范围从300kHz~300GHz之间。射频是一种高频交流变化电磁波,具有远距离传输能力。在电子学理论中,电流流过导体时,导体周围会形成磁场;交变电流通过导体时,导体周围会形成交变的电磁场,称为电磁波。当电磁波频率高于100kHz时,电磁波可以在空气中传播,并经大气层外缘的电离层反射,形成远距离传输能力。我们把具有远距离传输能力的高频电磁波称为射频。
射频技术在无线通信领域被广泛使用,例如有线电视系统就是采用射频传输方式。此外,射频技术在半导体制造行业、医疗等领域也有广泛应用,如射频溅射、PECVD化学气相沉积、反应离子刻蚀等设备中,以及心脏射频消融术等。