硅片和晶圆都是硅基半导体材料,但它们在形状和用途上有所不同:
形状
晶圆:是硅半导体集成电路制作所用的硅晶片,形状为圆形,直径通常为8英寸或12英寸。
硅片:是单晶硅棒的切片,形状也是圆形,但尺寸通常较小,用于制造晶体管和集成电路。
用途
晶圆:在制造半导体器件时,晶圆是一张大型的圆形硅片,通过光刻、离子注入等工艺,可以制成各种器件,如晶体管、二极管、场效应晶体管等。晶圆的制造成本较低,适合批量生产。
硅片:硅片是制造半导体器件的原料,一般需要通过切割单晶硅棒得到。硅片在制造过程中需要经过化学机械研磨、抛光、退火等步骤,最终制成各种半导体器件。
制造过程
晶圆:晶圆的制造过程包括硅石还原、金属硅提纯、多晶硅熔融、单晶硅棒直拉、硅片切割、抛光、退火和外延生长等步骤。
硅片:硅片的制造过程主要是将单晶硅棒切割成所需尺寸的硅圆片,然后进行后续的加工和制造。
总结:
晶圆是未经切割的硅晶片,通常用于批量生产,制造成本较低。
硅片是经过切割的硅圆片,用于制造各种半导体器件,需要经过更多的加工步骤。
建议在设计和制造半导体器件时,根据具体需求和工艺选择合适的硅片或晶圆。